криогенный насос

криогенный насос

 

криогенный насос
 Высоковакуумный насос, функционирующий в диапазоне давлений от около 10-3 торр до 10-10 торр; молекулы газа удаляются из вакуума благодаря их захвату на охлажденных поверхностях; обеспечивает эффективное и без загрязнений откачивание; обычно используется в высококачественном вакуумном оборудовании при производстве полупроводников.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • cryogenic pump


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Нужен реферат?

Смотреть что такое "криогенный насос" в других словарях:

  • КРИОГЕННЫЙ НАСОС — вакуумный насос, действие которого основано на сорбции или конденсации газа на рабочую поверхность, охлажденную до сверхнизких температур (ниже 0,5 К). Разрежение до 0,1 нПа …   Большой Энциклопедический словарь

  • криогенный насос — вакуумный насос, действие которого основано на сорбции или конденсации газа на рабочую поверхность, охлаждённую до сверхнизких температур (ниже 0,5 К). Разрежение до 0,1 нПа. * * * КРИОГЕННЫЙ НАСОС КРИОГЕННЫЙ НАСОС, вакуумный насос, действие… …   Энциклопедический словарь

  • криогенный насос — kriogeninis siurblys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. cryopump vok. Kryopumpe, f rus. криогенный насос, m; крионасос, m pranc. cryopompe, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • криогенный насос — kriogeninis siurblys statusas T sritis Energetika apibrėžtis Kondensacinis arba sorbcinis vakuuminis siurblys su atšaldytais iki kriogeninių temperatūrų (<120 °C) paviršiais. atitikmenys: angl. cryogenic pump vok. Kryopumpe, f rus. криогенный… …   Aiškinamasis šiluminės ir branduolinės technikos terminų žodynas

  • Криогенный насос —         конденсационный или сорбционный Вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на поглощении откачиваемого газа поверхностью, охлажденной до сверхнизких температур (ниже 0,5 К). К. н. обеспечивают разрежение в широком диапазоне… …   Большая советская энциклопедия

  • КРИОГЕННЫЙ НАСОС — конденсац. или сорбционный вакуумный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до криогенных (ниже 120 К) темп р. Различают К. н. заливные и с автономными криогенераторами …   Большой энциклопедический политехнический словарь

  • ионно-криогенный насос — joninis kriogeninis siurblys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion cryopump vok. Ionenkryopumpe, f rus. ионно криогенный насос, m pranc. ion cryopompe, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • Вакуумный насос —         устройство для удаления (откачки) газов и паров из замкнутого объёма с целью получения в нём Вакуума. Существуют различные типы В. н., действие которых основано на разных физических явлениях: механические (вращательные), струйные,… …   Большая советская энциклопедия

  • Конденсационный насос —         то же, что Криогенный насос …   Большая советская энциклопедия

  • ВАКУУМНЫЙ НАСОС — устройство для удаления газов и паров из замкнутого объёма с целью получения вакуума. В. н. делятся на проточные, к рые удаляют газ из откачиваемого объёма наружу, и сорбционные, связывающие газ внутри насоса. Существуют также спец.… …   Физическая энциклопедия


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»